[发明专利]一种离子源束流诊断用发射度仪及发射度探测方法

摘要

本发明属于同位素电磁分离器技术领域，具体涉及一种离子源束流诊断用发射度仪及发射度探测方法，设置在同位素电磁分离器上，同位素电磁分离器包括设置在真空室内、设有引出电极的离子源，离子源从引出电极的引出缝中射出离子束，其中，离子源束流诊断用发射度仪包括设置有探头的运动支撑机构，运动支撑机构能够使探头在真空室内的引出缝附近做往复直线运动，探头能够测量离子束的电流信号；还包括连接探头的扫描电源；还包括控制动支撑机构、扫描电源、处理探头所获得的电流信号的运动控制及数据采集系统。采用本发明的发射度仪及发射度探测方法能够精确测量低能强流弧放电离子源的发射度、测量束流功率达到1.5kW，测量束流张角达到±14.5°。

主权项

1.一种离子源束流诊断用发射度仪,设置在同位素电磁分离器上，所述同位素电磁分离器包括设置在真空室(9)内、设有引出电极的离子源，所述离子源从所述引出电极的引出缝中射出离子束，其特征是：所述同位素电磁分离器用于对铷元素Rb进行电磁分离，得到85Rb、87Rb两种同位素，所述离子束的束流能量为30keV，最大张角达到±14.5度，流强≤100mA；所述离子源束流诊断用发射度仪包括设置有探头(6)的运动支撑机构，所述运动支撑机构能够使所述探头(6)在所述真空室(9)内的所述引出缝附近做往复直线运动，所述探头(6)能够测量所述离子束的电流信号；还包括连接所述探头(6)的扫描电源；还包括控制所述运 动支撑机构、扫描电源、处理所述探头(6)所获得的所述电流信号的运动控制及数据采集系统；所述运动支撑机构设置在所述真空室(9)上，包括连接步进电机(1)和螺母(2)的丝杠(3)，还包括与所述螺母(2)相连、一端穿入所述真空室(9)的传动杆(4)、设置在所述真空室(9)内的所述传动杆(4)的一端的探头支架(8)，所述探头(6)安装在所述探头支架(8)上，还包括把所述传动杆(4)设置在所述真空室(9)上的安装法兰(5)，所述传动杆(4)能够在所述步进电机(1)的驱动下带动所述探头(6)做往复直线运动，其中，所述传动杆(4)采用密封的波纹管实现所述运动支撑机构在真空环境与非真空环境之间的运动贯穿。