[发明专利]一种基于开放式网络的晶体生长智能机器系统

摘要

本发明涉及一种基于开放式网络的晶体生长智能机器系统，包括工控机，获取并显示工艺参数、操作命令及晶体生长状态信息；工艺流程管理模块，接收并保存多套所述工艺参数；功率控制模块根据当前工艺参数控制加热电源功率；熔体视觉测量模块采集晶体生长炉内熔体界面实时图像信息；提拉运动控制模块根据当前工艺参数实现晶体生长过程提拉电机的闭环控制；晶体重量感知模块获取晶体重量；冷却系统检测模块对晶体生长过程的冷却水状态进行控制；真空系统控制模块对晶体生长炉的真空度进行控制。该系统基于跨平台语言设计，包含为适应热场变化的专家系统，与现有技术相比，本发明具有效率高、计算分析功能强、对热场变化适应能力强、可靠性高等优点。

主权项

一种基于开放式网络的晶体生长智能机器系统，其特征在于，包括：工控机，获取工艺参数、操作命令及晶体生长状态信息，并显示晶体生长状态信息、实时运行参数和实时运行状态信息；工艺流程管理模块，包括PLC，通过工业以太网交换机与工控机连接，接收并保存多套所述工艺参数，根据所述操作命令选择一套工艺参数作为当前工艺参数；功率控制模块，通过工业以太网交换机与工艺流程管理模块连接，根据所述当前工艺参数控制加热电源功率；熔体视觉测量模块，通过工业以太网交换机与工控机连接，采集晶体生长炉内熔体界面实时图像信息上传至所述工控机；提拉运动控制模块，通过工业以太网交换机与工艺流程管理模块连接，根据所述当前工艺参数实现晶体生长过程提拉电机的闭环控制；晶体重量感知模块，通过现场总线网络与工艺流程管理模块连接，获取晶体重量；冷却系统检测模块，通过现场总线网络与工艺流程管理模块连接，根据所述当前工艺参数对晶体生长过程的冷却水状态进行控制；真空系统控制模块，通过现场总线网络与工艺流程管理模块连接，根据所述当前工艺参数对晶体生长炉的真空度进行控制。