[发明专利]多模波导90°转向阵列芯片在审
| 申请号： | 201610909510.X | 申请日： | 2016-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN106371169A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 尹小杰;孙静雯;刘耀;张家顺;安俊明;钟飞;常夏森 | 申请（专利权）人： | 河南仕佳光子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司41125 | 代理人： | 张绍琳,孙诗雨 |
| 地址： | 458030 河南省鹤*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多模波导90°转向阵列芯片，包括芯片本体，所述芯片本体包括衬底、波导和包层，包层将波导包裹在衬底上，所述波导平行设置且波导之间间隔相等，且波导的一侧端面为全反射面。所述波导的条数和波导间距可以根据具体情况做调整。没有引入透镜，光程很短，更利于光集成。直接耦合，减少了Lens array的加入和贴装工序，耦合精度更高，光路整体稳定性更好。波导阵列的加工技术比较成熟，成本低廉。不需要昂贵的透镜设计和开模费用，前期研发投入少。光波导阵列使用的全是石英玻璃材质，不存在高温下的老化问题，高低温条件的可靠性会更好。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 90 转向 阵列 芯片 | ||
【主权项】：
一种多模波导90 °转向阵列芯片，其特征在于：包括芯片本体（5），所述芯片本体（5）包括衬底（1）、波导（2）和包层（3），包层（3）将波导（2）包裹在衬底（1）上，所述波导（2）平行设置且波导（2）之间间隔相等，且波导（2）的一侧端面为全反射面（4）。
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