[发明专利]一种低浓度磷化氢浓度在线监测方法

摘要

本发明涉及磷化氢浓度在线测量。一种低浓度磷化氢浓度在线监测方法，该方法采用的装置包括采样输送单元、采样罐、磷化氢传感器、抽气泵、采样排气单元、吹扫单元、PLC控制器单元，人机界面单元以及远程监控系统。本发明在线循环检测各采样支路的磷化氢浓度，还对监测装置控制柜内有可能泄露的磷化氢气体浓度检测并报警，实现检测的安全性。采用了吹扫单元，避免了遗留在采样罐中的气体对测量精度的干扰。另外，本发明具备触摸屏人机界面，记录采样数值用于分析报警，具备操作直观方便的特点，并具备工业以太网通讯接口，具备信息集成方便的特点。本发明具有结构简单，易于操作及使用非常安全的特点。

主权项

1.一种磷化氢浓度在线监测方法，其特征在于：该方法采用的装置包括采样输送单元（1）、采样罐（2）、磷化氢传感器（3）、抽气泵（4）、采样排气单元（5）、吹扫单元（6）、PLC控制器单元（7），人机界面单元（8）以及远程监控系统（9），所述的采样输送单元（1）设置有多路连接支路分别连接至仓库的各个位置，采样输送单元（1）通过连接管路连接至采样罐（2），采样罐（2）上设置所述的磷化氢传感器（3），磷化氢传感器（3）电连接至PLC控制器单元（7），PLC控制器单元（7）分别通过连接人机界面单元（8）以及远程监控系统（9）；在采样罐（2）上通过连接管路连接所述的吹扫单元（6），吹扫单元（6）连接大气，并在采样罐（2）还通过连接管路连接所述的抽气泵（4），抽气泵（4）通过连接管路连接采样排气单元（5）；所述的PLC控制器单元（7）分别连接控制采样输送单元（1）、抽气泵（4）、采样排气单元（5）和吹扫单元（6）工作；所述的连接支路上分别设置有进气电磁阀，进气电磁阀均连接PLC控制器单元（7），吹扫单元（6）包括吹扫管路和吹扫电磁阀，吹扫电磁阀连接PLC控制器单元（7）；采样罐（2）上设置有磷化氢检测罐，磷化氢检测罐的一端通过第一连接管路连接至第一采样罐，在第一连接管路上设置第一电磁阀，所述的磷化氢传感器（3）设置在磷化氢检测罐内，磷化氢检测罐的另一端通过第二连接管路连接至采样排气单元（5），平衡微循环泵设置在第二连接管路上，并在平衡微循环泵后端设置有第二电磁阀，采样罐（2）上设置有恒温控制装置，恒温控制装置包括上温度传感器、下温度传感器、第一单片机和半导体制冷片；所述的上温度传感器和下温度传感器分部设置在采样罐（2）的上、下部，上温度传感器和下温度传感器方便连接至第一单片机；所述的半导体制冷片紧贴设置在采样罐（2）的外侧；PLC控制器单元（7）内设置第一变送器，第一变送器包括第二单片机、制冷或加热控制单元和报警单元，第二单片机与第一单片机通过RS485通信接口相连接，第二单片机连接制冷或加热控制单元，制冷或加热控制单元控制连接半导体制冷片工作，所述的报警单元连接第二单片机，半导体制冷片上设置有散热片，散热片外部设置风扇；所述的变送器包括风扇控制单元，风扇控制单元连接控制风扇工作，该方法包括以下的步骤：1）工作前，所有的设备处于关闭或停止状态；2）首先进行采样前的吹扫；打开吹扫电磁阀和排气电磁阀，开启吸气泵，定时运行1分钟对采样罐（2）使用大气吹扫；3）采样的时候，打开该连接支路进气电磁阀和排气电磁阀，并启动吸气泵，将采样气抽到采样罐（2），定时运行1分钟，通过采样罐（2）上安装的磷化氢传感器（3）进行浓度监测；4）检测完成后，将该连接支路的进电磁气阀关闭，通过吸气泵排出采样气到大气排出管；然后进行下一路的采样监测；上述的磷化氢传感器（3）外送信号到PLC控制器单元（7），进行记录，用户可以通过以太网，传送到远程监控系统（9）；该装置的控制柜上带触摸屏显示；用户可以在触摸屏上方便的进行操作；整个控制过程PLC根据设定的逻辑控制，以便如果超出范围向操作人员报警。