[发明专利]一种两自由度隔振与精密定位的复合主动隔振器

摘要

本发明公开了一种两自由度隔振与精密定位的复合主动隔振器，该隔振器包括基础平台(10)和负载平台(30)，该隔振器还包括隔振单元，其设置在所述基础平台(10)和负载平台(30)之间，所述隔振单元包括沿第一方向设置的空气弹簧(20)和第一音圈电机(25a)，所述隔振单元还包括沿第二方向设置的可调刚度片弹簧和第二音圈电机(25b)，该隔振器还包括定位单元，其设置在所述隔振单元的外侧，所述定位单元包括沿第一方向设置的比例压力阀(26)，所述定位单元还包括沿第二方向的第二音圈电机(25b)。本发明的隔振器，通过两个隔振单元和精密定位单元，实现精密隔振和精密定位，适用于微环境下的超精密加工与测量设备。

主权项

一种两自由度隔振与精密定位的复合主动隔振器，该隔振器包括基础平台(10)和负载平台(30)，所述基础平台(10)的下端与外部平台连接，所述负载平台(30)的上端与需要定位和隔振的设备连接，其特征在于：该隔振器还包括隔振单元，其设置在所述基础平台(10)和负载平台(30)之间，一端与所述基础平台(10)连接，另一端与所述负载平台(30)连接，所述隔振单元包括沿第一方向设置的空气弹簧(20)和第一音圈电机(25a)，所述空气弹簧用于实现高频部分的被动隔振，所述第一音圈电机用于实现中低频主动隔振，从而实现第一方向的主被动复合全频段隔振；所述隔振单元还包括沿第二方向设置的可调刚度片弹簧和第二音圈电机(25b)，所述片弹簧通过解耦柔性铰链与所述空气弹簧连接，用于实现高频部分的被动隔振，所述第二音圈电机用于实现中低频主动隔振，从而实现第二方向的主被动复合全频段隔振；以及定位单元，其设置在所述隔振单元的外侧，一端与所述基础平台(10)连接，另一端与所述负载平台(30)连接，所述定位单元包括沿第一方向设置的比例压力阀(26)，用于控制所述空气弹簧(20)进气量，从而实现第一方向的精密定位；所述定位单元还包括沿第二方向设置得第二音圈电机(25b)，用于实现位移控制，从而实现第二方向的精密定位。