[发明专利]一种硅微谐振器快速起振装置及起振方法有效
| 申请号： | 201610915640.4 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107966141B | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 崔健;刘凯 | 申请（专利权）人： | 北京自动化控制设备研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5649 | 分类号： | G01C19/5649;G01C19/5656;B81B7/02 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高安娜 |
| 地址： | 100074 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微电子工艺加工技术，具体公开了一种硅微谐振器快速起振装置及起振方法，装置包括前置读出电路、选择开关、比较器和闭环控制装置，前置读出电路的输出端同时连接闭环控制装置的输入端，选择开关的另一输入端与闭环控制装置输出端连接。方法中对自激振荡回路中的振动电压信号幅度进行阈值判定，对硅微谐振器的驱动信号进行选择，无需事先对谐振器进行初始频率测试和电路参数配置。由前置读出电路、比较器、选择开关组成自激振荡回路，利用自激振荡回路可以快速得出硅微谐振器的谐振频率，将该频率信息发送至闭环控制回路，再利用闭环控制回路实现硅微谐振器的横幅振荡，缩短了起振时间，节约调试时间，节省生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振器 快速 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种硅微谐振器快速起振装置，其特征在于：它包括与硅微谐振器输出端连接的前置读出电路(20)、与硅微谐振器输入端连接的选择开关(9)、连接在所述前置读出电路(20)输出端和选择开关其中一个输入端的比较器(8)，以及闭环控制装置(18)，其特征在于：所述的前置读出电路(20)的输出端同时连接所述闭环控制装置(18)的输入端，所述的选择开关的另一输入端与所述闭环控制装置(18)的输出端连接。
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