[发明专利]一种以包裹泡沫材料的方式制备单层六方氮化硼大单晶的方法有效
| 申请号： | 201610915977.5 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107964682B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 陈珊珊;应豪;王乐 | 申请（专利权）人： | 中国人民大学 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B25/18 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 100872 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种以包裹泡沫材料的方式制备单层六方氮化硼大单晶的方法。包括如下步骤：将泡沫材料用包裹材料包裹，并使包裹后的所述泡沫材料与化学气相沉积体系相通，以含硼元素和氮元素的化合物为原料，进行化学气相沉积，沉积完毕得到所述单层六方氮化硼单晶；构成所述包裹材料的材料为金属。通过该方法可以简单、高效、环保的在金属衬底表面制备出高质量的大单晶六方氮化硼，且通过此方法首次在铂片表面得到大单晶六方氮化硼。 | ||
| 搜索关键词： | 六方氮化硼 泡沫材料 大单晶 化学气相沉积 包裹材料 制备单层 表面制备 氮元素 金属衬 硼元素 铂片 单层 单晶 沉积 相通 金属 环保 | ||
【主权项】：
1.一种制备单层六方氮化硼单晶的方法，包括如下步骤：将泡沫材料用包裹材料包裹，并使包裹后的所述泡沫材料与化学气相沉积体系相通，以含硼元素和氮元素的化合物为原料，进行化学气相沉积，沉积完毕得到所述单层六方氮化硼单晶；构成所述包裹材料的材料为金属；所述泡沫材料为含有对硼或者氮具有溶解度的材料；所述化学气相沉积步骤中，载气为氢气；载气的流速为10sccm‑30sccm；气态原料的流速为5‑20sccm；体系压强为14Pa‑44Pa；沉积温度为1030℃‑1100℃；沉积时间为30min‑75min。
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