[发明专利]衬底处理装置及使用所述衬底处理装置的衬底处理方法

摘要

本发明涉及一种衬底处理装置及使用所述衬底处理装置的衬底处理方法，且更具体而言，涉及一种能够改善参与衬底处理工艺的工艺气体的流量的衬底处理装置及使用衬底处理装置的方法。根据示例性实施例的衬底处理装置包括：预腔室，衬底被载送至预腔室中；工艺腔室，与预腔室连通且在工艺腔室中执行衬底处理工艺；衬底舟，包括多个分隔板以分隔装载空间，并进行升降，衬底被装载至装载空间中；气体供应单元，用以经由设置于工艺腔室中的多个喷射喷嘴将工艺气体供应至衬底；排放单元，用以经由界定于工艺腔室中的多个抽吸孔来排放气体；以及交换引导构件，设置于预腔室中并用以将被载送至预腔室中的衬底放置于经多个分隔板分隔的装载空间中。

主权项

1.一种衬底处理装置，其特征在于，包括：预腔室，衬底经由门狭缝被载送至所述预腔室中；工艺腔室，与所述预腔室连通，且在所述工艺腔室中执行衬底处理工艺；衬底舟，包括具有圆形板形状的多个分隔板以分隔装载空间以及用以支撑所述多个分隔板的多个连接杆，并进行升降，所述衬底被装载至所述装载空间中；气体供应单元，用以经由设置于所述工艺腔室中的多个喷射喷嘴将工艺气体供应至所述衬底；排放单元，用以经由设置于所述工艺腔室中的多个抽吸孔来排放气体；以及多个交换引导构件，设置于所述预腔室的内部且在与所述衬底的载送方向交叉的方向上，并用以经由传送模块的末端执行器传送将被载送至所述预腔室中的所述衬底，且放置所述衬底于经所述多个分隔板分隔的所述装载空间中，所述多个连接杆在所述衬底的所述载送方向上对称地设置且远离所述门狭缝，且所述多个连接杆中的彼此对称且在所述门狭缝的一侧的连接杆之间的宽度大于所述衬底的宽度，所述交换引导构件包括支撑部件，所述支撑部件包括设置于其上的对齐台阶式部件，在所述对齐台阶式部件上支撑所述衬底的端部，所述支撑部件的一侧具有叉形形状，以使彼此对称且在所述门狭缝的所述一侧的所述连接杆设置于叉形空间中。