[发明专利]一种微机械陀螺仪

摘要

一种微机械陀螺仪，涉及陀螺仪。设有中间层、上层盖、封装盖帽层，在中间层上设有驱动电极、驱动耦合环形结构、转向杠杆、驱动导向谐振器、敏感质量块、驱动检测电极、检测导向谐振器、检测耦合环形结构、检测电极和锚点结构；驱动电极置于结构的正中央，驱动耦合环形结构置于驱动电极的外侧，驱动耦合环形结构外侧放置四个中心对称的转向杠杆，转向杠杆与敏感质量块相邻一侧的驱动导向谐振器连接，敏感质量块位于驱动耦合环形结构的上、下、左、右；敏感质量块内外两侧各放置以自身对称检测导向谐振器；检测导向谐振器外侧设置检测耦合环形结构，检测耦合环形结构外侧设置中心对称的检测电极；上层盖上设有支撑结构、导电材料、检测电极。

主权项

1.一种微机械陀螺仪，其特征在于设有中间层、上层盖、封装盖帽层，所述中间层设于上层盖和封装盖帽层之间，在中间层上设有驱动电极、驱动耦合环形结构、转向杠杆、驱动导向谐振器、敏感质量块、驱动检测电极、检测导向谐振器、检测耦合环形结构、检测电极和锚点结构；所述驱动电极置于驱动耦合环形结构的中央，所述驱动耦合环形结构外侧放置四个中心对称的转向杠杆，所述转向杠杆与中间层的敏感质量块相邻一侧的驱动导向谐振器连接，所述敏感质量块位于驱动耦合环形结构的上、下、左、右；所述敏感质量块内外两侧各放置以自身对称检测导向谐振器；所述检测导向谐振器外侧设置检测耦合环形结构，所述检测耦合环形结构外侧设置中心对称的检测电极；所述上层盖上设有支撑结构、导电材料、检测电极。