[发明专利]一种制备单层六方氮化硼大单晶的方法有效
| 申请号： | 201610916379.X | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107964680B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 陈珊珊;应豪;王乐 | 申请（专利权）人： | 中国人民大学 |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18;C30B29/40;C30B29/64 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 100872 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备大单晶六方氮化硼的方法。该方法包括：以含硼元素和氮元素的化合物为原料，在衬底上进行化学气相沉积，沉积完毕得到所述单层六方氮化硼单晶；所述化学气相沉积的体系中还含有泡沫材料。通过该方法可以简单、高效、环保的在金属衬底表面制备出高质量的大单晶六方氮化硼，且通过此方法首次在铂片表面得到大单晶六方氮化硼。 | ||
| 搜索关键词： | 六方氮化硼 大单晶 化学气相沉积 表面制备 泡沫材料 制备单层 氮元素 金属衬 硼元素 铂片 衬底 单层 单晶 沉积 制备 环保 | ||
【主权项】：
1.一种制备单层六方氮化硼单晶的方法，包括如下步骤：以含硼元素和氮元素的化合物为原料，在衬底上进行化学气相沉积，沉积完毕得到所述单层六方氮化硼单晶；所述化学气相沉积的体系中还含有泡沫材料；所述泡沫材料为含有对硼或者氮具有溶解度的材料；所述化学气相沉积步骤中，载气为氢气；载气的流速为10sccm‑30sccm，；气态原料的流速为5‑20sccm；体系压强为14Pa‑44Pa；沉积温度为1030℃‑1100℃；沉积时间为30min‑75min；所述泡沫材料与所述衬底的位置关系为垂直叠放、平行放置或前后放置。
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