[发明专利]干膜抗蚀剂、电路布线的制造方法、电路布线、输入装置及显示装置有效
| 申请号： | 201610919906.2 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN107015437B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 片山晃男;长田崇一郎 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;G06F3/041 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种干膜抗蚀剂、电路布线的制造方法、电路布线、输入装置、显示装置。提供能够制造图案直线性高的电路布线的干膜抗蚀剂。一种干膜抗蚀剂、电路布线的制造方法、电路布线、输入装置、显示装置，所述干膜抗蚀剂为在临时支承体上具有抗蚀剂层的正型干膜抗蚀剂，临时支承体的总光线雾度为0.3％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 干膜抗蚀剂 电路 布线 制造 方法 输入 装置 显示装置 | ||
【主权项】：
一种干膜抗蚀剂，其为在临时支承体上具有抗蚀剂层的正型干膜抗蚀剂，所述临时支承体的总光线雾度为0.3％以下。
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