[发明专利]一种基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置有效
| 申请号： | 201610921172.1 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106381524A | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 杨翠柏;方聪;陈丙振 | 申请（专利权）人： | 北京鼎泰芯源科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 陈英俊,许向彤 |
| 地址： | 100080 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置，包括贯穿炉体内外的观察通道，观察通道出口处设置有观察窗，还包括进气管道，向观察通道通入惰性气体；一圈小进气孔，沿内层管壁间隔地并与通道轴线垂直地设置，形成一密闭气障，阻碍上升的挥发物接近观察窗玻璃表面；扫气管道，相对于观察通道轴线倾斜成一定角度，扫气管道出口与所述观察窗相对，且扫气管道出口在所述一圈小进气孔的上方，所述扫气管道通入惰性气体，可及时吹扫掉气障未阻挡住的挥发物遇观察窗凝结的细颗粒状磷。本发明形成进气通道和扫气通道两路气体通道，从而有效解决磷蒸气注入原位合成法的直拉InP单晶炉上方观察窗的摭蔽问题，而且本发明结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 原位 成法 inp 单晶炉用 观察窗 装置 | ||
【主权项】：
一种基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置，包括贯穿炉体内外的观察通道，观察通道出口处设置有观察窗，其特征在于，还包括进气管道，向观察通道通入惰性气体；一圈小进气孔，沿内层管壁间隔地并与通道轴线垂直地设置，形成一密闭气障，阻碍上升的挥发物接近观察窗玻璃表面；扫气管道，相对于观察通道轴线倾斜成一定角度，扫气管道出口与所述观察窗相对，且扫气管道出口在所述一圈小进气孔的上方，所述扫气管道通入惰性气体，可及时吹扫掉气障未阻挡住的挥发物遇观察窗凝结的细颗粒状磷。
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