[发明专利]一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器

摘要

本发明公开了一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器，包括：射频电源、匹配网络、细长管、放电线圈、屏蔽层和支架，放电线圈缠绕在细长管外壁上，射频电源、匹配网络和放电线圈通过同轴传输线依次连接；细长管的左右两端分别通过卡套直管和密封法兰卡套与左微型腔室和右微型腔室连接，左微型腔室的周向还设有出气口和气压探测器接口，左端连接有左串联法兰；右微型腔室的周向还设有进气口，右端连接有右串联法兰。本发明不仅可以作为等离子体源反应器单独使用，还可以由多个串联起来，产生长度在1～40米可调的细长型等离子体，进而延长高能离子束在等离子体中的作用时间。

主权项

1.一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器，其特征在于，包括：射频电源、匹配网络、细长管、放电线圈、屏蔽层和支架，所述放电线圈缠绕在所述细长管外壁上，所述射频电源、匹配网络和放电线圈通过同轴传输线依次连接，所述匹配网络和所述放电线圈的末端之间的同轴传输线上连接有接地端子；所述细长管的左右两端分别通过卡套直管和密封法兰卡套与左微型腔室和右微型腔室连接，所述密封法兰卡套和所述细长管之间设有密封圈，所述左微型腔室和右微型腔室均为圆柱型腔室，周向的外壁为夹层结构且设有观察窗，所述夹层结构设有进水口和出水口；所述左微型腔室的周向还设有出气口和气压探测器接口，左端连接有左串联法兰；所述右微型腔室的周向还设有进气口，右端连接有右串联法兰；所述屏蔽层的两端分别与一个所述卡套直管连接，将所述放电线圈包裹在内部；所述支架包括两个微型腔室支撑架、屏蔽层支撑架和底板，所述两个微型腔室支撑架和屏蔽层支撑架设置在所述底板上，所述两个微型腔室支撑架分别与左微型腔室和右微型腔室连接，所述屏蔽层支撑架与所述屏蔽层连接；所述放电线圈的匝数为9～19匝；所述细长管为内径4～7厘米，长度1～2米的石英玻璃管或陶瓷管。