[发明专利]一种运动台定位误差补偿装置及补偿方法有效
| 申请号： | 201610925991.3 | 申请日： | 2016-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN107976870B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 韩春燕;陈南曙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种运动台定位误差补偿装置及补偿方法，该装置包括掩模版，掩模版上设有用于运动台定位误差测量的测量标记，测量标记包括X向测量标记和Y向测量标记；掩模台，用于承载掩模版；工件台，用于承载涂胶后的基底；投影物镜，将掩模版上的测量标记成像到基底上；对准装置，用于测量测量标记在显影后基底上的成像标记。在掩模版上设置X向测量标记和Y向测量标记，针对工件台和掩模台进行定位误差测试曝光，通过对准装置测量得到工件台和掩模台的定位误差，数据处理得到定位误差补偿表；利用得到的补偿表分别对工件台控制系统和掩模台控制系统进行前馈补偿，本发明可以用于在线补偿和离线校准，不受传感器类型限制，具有更强的适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运动 定位 误差 补偿 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种运动台定位误差补偿装置，其特征在于，包括：掩模版，所述掩模版上设有用于运动台定位误差测量的测量标记，所述测量标记包括X向测量标记和Y向测量标记；掩模台，用于承载所述掩模版；工件台，用于承载涂胶后的基底；投影物镜，将掩模版上的测量标记成像到基底上；对准装置，用于测量测量标记在显影后基底上的成像标记；所述X向测量标记包括两个呈阶梯状的X向光栅，所述Y向测量标记包括两个呈阶梯状的Y向光栅，所述X向测量标记和Y向测量标记单独排列，两个所述X向光栅沿X轴方向错位排列，两个所述Y向光栅沿Y轴方向错位排列。
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