[发明专利]一种低反射率膜层结构

摘要

本发明公开了一种低反射率膜层结构，包括硅片，所述硅片的正面有正面绒面，所述正面绒面上由下至上依次设有非晶硅膜层、底层高折射率膜层、中间高折射率膜层和表面渐变膜层，所述表面渐变膜层上设有表面低折射率膜层。该低反射率膜层结构通过增加非晶硅膜层，用以增强吸光性和光的吸收率；通过增加底层高折射率膜层，用以钝化非晶硅层中的缺陷，从而非晶硅膜层、底层高折射率膜层、中间高折射率膜层和表面渐变膜层共同配合降低反射率，提高电池转换效率。

主权项

一种低反射率膜层结构，包括硅片(1)，所述硅片(1)的正面有正面绒面(3)，其特征在于，所述正面绒面(3)上由下至上依次设有非晶硅膜层(6)、底层高折射率膜层(7)、中间高折射率膜层(4)和表面渐变膜层(5)。