[发明专利]一种黑硅制备方法、制绒机及采用该制备方法制成的黑硅

摘要

本发明提供了一种黑硅制备方法、制绒机及采用该制备方法制成的黑硅，所述方法包括如下步骤：S1、将硅片用腐蚀液进行刻蚀制绒；S2、将刻蚀后的硅片用酸性溶液进行酸性刻蚀；S3、将酸性刻蚀后的硅片用碱性溶液进行碱性刻蚀；S4、将碱性刻蚀后的硅片用酸性溶液再次进行酸性刻蚀。本发明的黑硅制备方法，其制备流程简单、稳定，制程时间很短，无需使用H2O2，可以根据晶硅电池电效应与光效应的结果需要调整不同的表面反射率；能够让晶体表面形成纳米级的微结构组织—纳米绒面；可以与现有电池工艺的微米绒面形成叠加效应。

主权项

一种黑硅制备方法，其特征在于：包括如下步骤：S1、将硅片用腐蚀液进行刻蚀制绒；S2、将刻蚀后的硅片用酸性溶液进行酸性刻蚀；S3、将酸性刻蚀后的硅片用碱性溶液进行碱性刻蚀；S4、将碱性刻蚀后的硅片用酸性溶液再次进行酸性刻蚀，制得黑硅。