[发明专利]一种基于实时系统的热处理设备温度控制装置及方法有效
| 申请号： | 201610930628.0 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN106406388B | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 徐冬;刘晨曦 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/30 | 分类号： | G05D23/30 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于实时系统的热处理设备温度控制装置和方法，该装置包括加热器、给加热器供电的电力供应单元、测量反应腔室温度的温度测量单元、信号处理单元、包含在电力供应单元中的功率控制单元、专用温度控制器和工艺模块控制器；当进行工艺前，所述模块控制器将工艺文件和系统文件中配置参数和控制参数导入温度控制器；当专用温度控制器启动时，接收工艺模块控制器发出控制指令的信号量，根据控制专用温度控制器配置参数和控制参数，以及工艺模块控制器与所述专用温度控制器间周期相同的心跳交互线程，实时执行对反应腔室供热的加热器的温度控制操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 实时 系统 热处理 设备 温度 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于实时系统的热处理设备温度控制装置；其特征在于，包括：用于给反应腔室供热的加热器、给所述加热器供电的电力供应单元、测量所述反应腔室温度的温度测量单元、信号处理单元、包含在电力供应单元中的功率控制单元、专用温度控制器和工艺模块控制器；所述信号处理单元接收所述温度测量单元发送所述反应腔室的实时温度测量结果和温度测量单元状态信息，其中，所述工艺模块控制器分别与信号处理单元、专用温度控制器和电力供应单元相连；其中，所述专用温度控制器的温度控制操作包括温度控制启停操作、系统配置参数和控制参数交互操作、Autoprofiling功能操作、心跳信号功能操作、清除回送数据功能操作、温度控制器重置功能操作；当进行工艺前，所述工艺模块控制器将工艺文件和系统文件中配置参数和控制参数导入专用温度控制器；当所述专用温度控制器启动时，接收所述工艺模块控制器发出控制指令的信号量，根据控制所述专用温度控制器配置参数和控制参数，以及所述工艺模块控制器与所述专用温度控制器间周期相同的心跳交互线程，实时执行对所述反应腔室供热的加热器的温度控制操作。
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