[发明专利]用于感光芯片封装的喷胶工艺有效

专利信息
申请号: 201610931552.3 申请日: 2016-10-24
公开(公告)号: CN106449685B 公开(公告)日: 2018-09-21
发明(设计)人: 胡振举 申请(专利权)人: 江苏钜芯集成电路技术股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;B05B13/00;B05C5/00
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人: 曹祖良
地址: 214028 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种用于感光芯片封装的喷胶工艺,其包括如下步骤:步骤1、提供所需的保护胶溶液,并对所述保护胶溶液进行脱泡;步骤2、将上述得到的保护胶溶液置入喷胶针筒中,并将喷胶针筒安装于喷胶机上;步骤3、提供感光芯片,并对所述感光芯片进行预热,且在所述感光芯片预热完成后转移至喷胶机的喷胶位;步骤4、启动喷胶机,并使得喷胶针筒中的保护胶溶液、空气分别经过出胶阀、喷气阀混合后通过喷胶头喷出,以在感光芯片的感光区表面形成保护薄胶;步骤5、将上述喷胶后的感光芯片静置;步骤6、将上述感光芯片放入预热炉中进行固化。本发明操作方便,能在感光芯片的感光区域形成均匀的保护薄胶层,不会影响感光芯片的感光效果。
搜索关键词: 用于 感光 芯片 封装 工艺
【主权项】:
1.一种用于感光芯片封装的喷胶工艺,其特征是,所述喷胶工艺包括如下步骤:步骤1、提供所需的保护胶溶液,并对所述保护胶溶液进行脱泡;步骤2、将上述步骤1得到的保护胶溶液置入喷胶针筒中,并将喷胶针筒安装于喷胶机上;步骤3、提供感光芯片,并对所述感光芯片进行预热,且在所述感光芯片预热完成后转移至喷胶机的喷胶位;步骤4、启动喷胶机,并使得喷胶针筒中的保护胶溶液、空气分别经过出胶阀、喷气阀混合后通过喷胶头喷出,以在感光芯片的感光区表面形成保护薄胶,其中,出胶阀工作时的压力为1~1.5MPa,喷气阀工作时的压力为1~1.5MPa,喷胶时间为200~250ms;步骤5、将上述步骤4得到的喷胶后的感光芯片静置10min~90min;步骤6、将上述感光芯片放入预热炉中进行固化,以在感光芯片的感光区表面形成所需的保护薄胶层;其中,固化温度为110℃~140℃,固化时间为50min~70min。
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