[发明专利]用于感光芯片封装的喷胶工艺有效
申请号: | 201610931552.3 | 申请日: | 2016-10-24 |
公开(公告)号: | CN106449685B | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
发明(设计)人: | 胡振举 | 申请(专利权)人: | 江苏钜芯集成电路技术股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;B05B13/00;B05C5/00 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于感光芯片封装的喷胶工艺,其包括如下步骤:步骤1、提供所需的保护胶溶液,并对所述保护胶溶液进行脱泡;步骤2、将上述得到的保护胶溶液置入喷胶针筒中,并将喷胶针筒安装于喷胶机上;步骤3、提供感光芯片,并对所述感光芯片进行预热,且在所述感光芯片预热完成后转移至喷胶机的喷胶位;步骤4、启动喷胶机,并使得喷胶针筒中的保护胶溶液、空气分别经过出胶阀、喷气阀混合后通过喷胶头喷出,以在感光芯片的感光区表面形成保护薄胶;步骤5、将上述喷胶后的感光芯片静置;步骤6、将上述感光芯片放入预热炉中进行固化。本发明操作方便,能在感光芯片的感光区域形成均匀的保护薄胶层,不会影响感光芯片的感光效果。 | ||
搜索关键词: | 用于 感光 芯片 封装 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种用于感光芯片封装的喷胶工艺,其特征是,所述喷胶工艺包括如下步骤:步骤1、提供所需的保护胶溶液,并对所述保护胶溶液进行脱泡;步骤2、将上述步骤1得到的保护胶溶液置入喷胶针筒中,并将喷胶针筒安装于喷胶机上;步骤3、提供感光芯片,并对所述感光芯片进行预热,且在所述感光芯片预热完成后转移至喷胶机的喷胶位;步骤4、启动喷胶机,并使得喷胶针筒中的保护胶溶液、空气分别经过出胶阀、喷气阀混合后通过喷胶头喷出,以在感光芯片的感光区表面形成保护薄胶,其中,出胶阀工作时的压力为1~1.5MPa,喷气阀工作时的压力为1~1.5MPa,喷胶时间为200~250ms;步骤5、将上述步骤4得到的喷胶后的感光芯片静置10min~90min;步骤6、将上述感光芯片放入预热炉中进行固化,以在感光芯片的感光区表面形成所需的保护薄胶层;其中,固化温度为110℃~140℃,固化时间为50min~70min。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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