[发明专利]III族氮化物双向器件有效
| 申请号： | 201610935458.5 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN107068746B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | G·普雷科托;O·黑伯伦;C·奥斯特梅尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技奥地利有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/06;H01L29/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;董典红 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了III族氮化物双向器件的各个实施方式。这种双向器件包括衬底、位于衬底之上的背部沟道层以及位于背部沟道层之上的器件沟道层和器件势垒层。器件沟道层和器件势垒层被配置为产生器件二维电子气(2DEG)。此外，III族氮化物双向器件包括形成在器件势垒层之上的相应第一耗尽部分和第二耗尽部分上的第一栅极和第二栅极。III族氮化物双向器件还包括位于背部沟道层和器件沟道层之间的背部势垒。III族氮化物双向器件的背部沟道层的极化基本等于器件沟道层的极化。 | ||
| 搜索关键词： | iii 氮化物 双向 器件 | ||
【主权项】：
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