[发明专利]一种室温多稳态平衡微机械系统及其实现方法有效
| 申请号： | 201610936122.0 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN106558263B | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 宋戈;许静平 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G09B23/08 | 分类号： | G09B23/08 |
| 代理公司： | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290 | 代理人： | 叶凤 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种室温多稳态平衡微机械系统及其实现方法。该微机械系统包括一对间距为微米量级的相互平行的平板1和平板2；平板1为电性双曲色散特异材料，由金属材料薄层和介质材料薄层在z轴方向交替重叠构成的一维周期性层状结构；平板2为磁性双曲色散特异材料，由磁性材料薄层和介质材料薄层在z轴方向交替重叠构成一维周期性层状结构。室温时，由于双曲色散特异材料的特殊电磁性质，在板间距为微米量级的区域会形成多个Casimir力服从排斥‑零‑吸引的稳定平衡点，为克服通常情况下由真空涨落造成微机械系统元器件间的粘附现象提供了一种有效方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 室温 稳态 平衡 微机 系统 及其 实现 方法 | ||
【主权项】：
1.一种室温多稳态平衡微机械系统，其特征在于，该微机械系统包括间距在微纳米量级的两个相互平行的第一平板和第二平板；所述第一平板为电性双曲色散特异材料，由金属材料薄层和介质材料薄层在z轴方向交替重叠构成的一维周期性层状结构；所述第二平板为磁性双曲色散特异材料，由磁性材料薄层和介质材料薄层在z轴方向交替重叠构成一维周期性层状结构；所述金属材料薄层、介质材料薄层以及磁性材料材料薄层在z轴方向的厚度均小于所选定的金属材料的等离子体波长的1/20；所述金属材料薄层、介质材料薄层以及磁性材料薄层在x轴和y轴方向的长度均大于所选定的金属材料的等离子体波长的10倍。
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