[发明专利]一种基于晶圆内部缺陷检测的图像自动识别系统

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种基于晶圆内部缺陷检测的图像自动识别系统，在数据分析的基础上，利用包含图像分割以及形态学去噪等的图像解析系统，对超声波扫描晶圆得到的原始图像进行解析，获取晶圆中灰边和气泡缺陷的位置，大小等信息，之后将信息存入到对应的数据库，通过调用相应的信息，自动生成满足客户需求的缺陷示意图以及趋势表，从而及时有效地发现在晶圆制程中的异常以及机台的异常，降低了人力成本，避免了机台污染，进而减少了不必要的损失。

主权项

一种基于晶圆内部缺陷检测的图像自动识别系统，其特征在于，包括：超声波扫描系统，对所述晶圆进行扫描以获取所述晶圆的原始图像；图像解析系统，与所述超声波扫描系统连接，且所述图像解析系统包括图像分割单元和形态学去噪单元，以利用图像形态学算法对所述原始图像进行分析，获取所述晶圆的缺陷信息；数据库，与所述图像解析系统连接，以存储所述缺陷信息；良率提升在线系统，与所述数据库连接，以根据所述缺陷信息生成示意图以及趋势表。