[发明专利]一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管在审
| 申请号： | 201610936741.X | 申请日： | 2016-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN106595161A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 杨瑞鹏;王磊 | 申请（专利权）人： | 杨瑞鹏 |
| 主分类号： | F25D1/02 | 分类号： | F25D1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管，包括上下两个ITO靶材，靶材之间通过冷却背管冷却，冷却背管的中央设有正向进液用的内管，内管和冷却背管之间形成反向回流出液管道。本发明结构设计简单合理，有效保证水的流动性，冷却效果大大优于现有一端进，一端出的冷却管道；保证旋转时不漏水，稳定性更好；保证冷却水能够充分充满冷却管，避免ITO靶材底部的冷却背管水出现空隙，有效防止裂靶现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 pvd 旋转 制造 冷却 | ||
【主权项】：
一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管， 包括上下两个ITO靶材，所述靶材之间通过冷却背管冷却，其特征在于：所述冷却背管的中央设有正向进液用的内管，所述内管和冷却背管之间形成反向回流出液管道。
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