[发明专利]晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法

摘要

本发明公开了一种晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，包括如下步骤：(1)将硅片放入碱性溶液中，去除硅片表面损伤层；(2)然后将硅片放入酸性溶液中，减小不同晶粒上的结构差异；(3)在上述步骤(2)的硅片表面形成多孔质层结构；(4)然后用第一化学腐蚀液进行表面刻蚀，即可得到晶体硅太阳能电池绒面结构。本发明先对硅片表面进行预处理，即先进行碱性溶液去损伤层，然后用酸性溶液进行各向同性腐蚀，两者的配合使用最终得到适合制备纳米绒面的表面结构，在光电转换效率上取得了明显的优势。

主权项

1.一种晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将硅片放入碱性溶液中，去除硅片表面损伤层；(2)然后将步骤(1)的硅片放入酸性溶液中，减小不同晶粒上的结构差异；(3)在上述步骤(2)的硅片表面形成多孔质层结构；(4)然后用第一化学腐蚀液对步骤(3)的硅片表面进行刻蚀，即可得到晶体硅太阳能电池绒面结构；所述第一化学腐蚀液为含有氢氟酸和氧化剂的混合溶液；所述步骤(1)中，所述碱性溶液选自以下溶液中的一种：NaOH和NaClO的混合碱溶液、NaOH溶液、KOH溶液、四甲基氢氧化铵溶液；所述步骤（2）中，所述酸性溶液为氢氟酸和铬酸的混合溶液。