[发明专利]扫描隧道显微镜扫描探针的制备方法及控制电路有效
| 申请号： | 201610937534.6 | 申请日： | 2016-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN106370891B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 谢启梁;谭智予;田果;黄寒 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | G01Q60/16 | 分类号： | G01Q60/16 |
| 代理公司： | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 郑隽;周晓艳 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了扫描隧道显微镜扫描探针的制备方法及控制电路，方法包括步骤：对探针进行去氧化膜的处理：在直径为0.5mm的探针底部套上胶圈，胶圈底部距离探针底部2mm；将金属丝圈放入2～3mol/L的KOH溶液中，探针底部插入液面的深度1mm；探针为阳极，金属丝圈为阴极，两端加5～12V的电压；当阳极上的第一电压与控制电路的固定电阻上的第二电压相等时，控制电路切断电路，使得探针底部形成针尖；控制电路包括与单片机串联的继电器、固定电阻和使用电解液连接的阴阳极。本申请利用橡皮圈控制纵横比和加大重力，用控制电路自动切断电源并实时检测电压，使得一步腐蚀法可制得纵横比合适、扫描图样清晰的理想探针针尖。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 隧道 显微镜 探针 制备 方法 控制电路 | ||
【主权项】：
扫描隧道显微镜扫描探针的制备方法，其特征在于，包括步骤：A、对探针进行去氧化膜的处理：用砂纸打磨除掉钨丝表面的氧化膜，再使用稀HCL浸泡，最后使用丙酮超声清洗；B、在直径为0.5mm的探针底部套上胶圈，胶圈底部与探针底部的垂直距离为2mm；C、将金属丝圈放入浓度为2～3mol/L的KOH溶液中，将探针竖直插入烧杯液面，探针底部插入液面的深度为1mm；以探针作为阳极，金属丝圈作为阴极，两端加5～12V的电压；D、当阳极上的第一电压与控制电路的固定电阻上的第二电压相等时，控制电路切断电路，使得探针底部形成针尖；控制电路包括与单片机串联的继电器、固定电阻和使用电解液连接的阴极、阳极。
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