[发明专利]激光密封玻璃料的方法及激光密封系统有效
| 申请号： | 201610938858.1 | 申请日： | 2016-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN106425088B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 薛慕蓉 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/073 | 分类号： | B23K26/073;B23K26/20;H01L51/56;H01L51/52 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光密封玻璃料的方法及激光密封系统，所述方法包括：发射激光束；通过分束器将所述激光束分散成比分散前光斑更长且能量更均匀的激光束；将所述激光束导入用于密封玻璃料的腔室；对所述激光束进行聚焦和校正形成线激光，所述线激光照射在用于对半导体元器件进行密封的玻璃料上。本发明将传统技术中的点激光处理成光斑长且能量均匀的线激光后通过该线激光熔融玻璃料对半导体元器件进行密封，很好地避免了激光密封过程中重叠(Overlap)区域由于激光能量不稳定造成的密封不完全或是密封破裂的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 密封 玻璃 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种激光密封玻璃料的方法，包括：发射激光束；通过分束器将所述激光束分散成比分散前光斑更长且能量更均匀的激光束；激光束经过分束器后，在其光路上设置光学系统，将所述激光束导入用于密封玻璃料的腔室；对所述激光束进行聚焦和校正形成线激光，所述线激光照射在用于对半导体元器件进行密封的玻璃料上；还包括在所述玻璃料上设置遮光层的步骤，所述遮光层上开设有透光孔，所述透光孔的形状与所述玻璃料需要被激光照射的区域相匹配；所述线激光照射在用于对半导体元器件进行密封的玻璃料上的步骤，是对所述玻璃料进行扫描，且扫描过程中所述线激光的光斑移动方向与所述透光孔的长度方向平行；所述发射激光束的步骤是通过激光头发射点激光。
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