[发明专利]一种基体表面的碳化铬多层梯度复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201610939472.2 | 申请日： | 2016-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN106544631B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 姜欣;王永欣;鲁侠;李金龙;王立平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/14;C23C14/06 |
| 代理公司： | 33291 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基体表面的碳化铬多层梯度复合涂层。该复合涂层自基体表面向上依次层叠Cr层、CrN层、CrCN层和CrC层。与现有单层CrC涂层相比，该多层梯度结构可以缓解涂层与基体之间组成、结构和物理性能的差异性，降低涂层应力，显著改善涂层的摩擦磨损性能。本发明还提供一种采用多弧离子镀技术，以金属Cr为靶材，高纯Ar为工作气体，C | ||
| 搜索关键词： | 一种 基体 表面 碳化 多层 梯度 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基体表面的高硬度、低磨损率、高耐蚀性碳化铬多层梯度复合涂层的制备方法，其特征是：自基体表面向上依次层叠Cr层、CrN层、CrCN层、CrC层；/n所述的碳化铬多层梯度复合涂层的制备方法是：采用多弧离子镀技术，将表面清洗处理后的基体置于镀膜设备真空腔体中，以金属Cr为靶材，以高纯Ar为工作气体，以C
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