[发明专利]一种在金属材料表面获得固态高润滑膜层的铝基二硫化钼靶材及其制备方法有效
申请号: | 201610941509.5 | 申请日: | 2016-10-31 |
公开(公告)号: | CN108004513B | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
发明(设计)人: | 余琨 | 申请(专利权)人: | 烟台南山学院;中南大学 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/06;C22C21/00;C22C32/00;C22C14/00 |
代理公司: | 43114 长沙市融智专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 颜勇 |
地址: | 265706 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种在金属材料表面获得固态高润滑膜层的铝基二硫化钼靶材及其制备方法,该铝基二硫化钼靶材由以下质量百分比的原料制成:铝30%~60%,钛30%~60%,二硫化钼1%~10%。本发明还包括铝基二硫化钼靶材的粉末热压烧结和真空热处理方法。本发明在温度和压力的共同作用下制备的靶材,致密度高,靶材在镀膜过程中,可以降低膜层的摩擦系数,膜层摩擦系数在0.2以下,甚至在湿度40%和较低载荷下,摩擦系数<0.1,达到0.05~0.08的范围,而且膜层和基材的结合力好,可以提高涂层使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属材料 表面 获得 固态 润滑 二硫化钼 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种在金属材料表面获得固态高润滑膜层的铝基二硫化钼靶材,其特征在于;以质量百分比计由下述组分组成:/n铝30%~60%;/n钛30%~60%;/n二硫化钼1%~10%;/n杂质小于0.01%;/n所述铝基二硫化钼靶材的致密度大于等于99%,所述二硫化钼均匀分布于铝钛合金基体中;/n所述铝基二硫化钼靶材通过下述步骤制备:/n步骤一/n按靶材成分配比称取铝粉、钛粉和二硫化钼粉,混合均匀后,得到混合粉末;/n步骤二/n将步骤一所得混合粉末置于模具中,连同模具一起放置在真空热压机中,在真空气氛或保护气氛下从室温开始升温到300℃~400℃,进行第一次保温,第一次保温时控制压力为30~40MPa;然后继续升温到600℃~700℃,进行第二次保温,第二次保温时控制压力为20~60MPa;继续升温到800℃~1000℃,进行第三次保温,第三次保温时控制压力为10~100MPa;然后开始降温并逐渐将压力从第三次保温时的压力降低到10MPa,冷却到室温,卸除压力,脱模;得到烧结样;/n步骤三/n将步骤二所得烧结样置于热处理炉中,在300~500℃温度下均匀化退火至少12小时,得到所述铝基二硫化钼靶材;/n所述铝基二硫化钼靶材可以直接在多弧离子溅射装置上进行真空镀膜,获得高润滑性涂层。/n
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