[发明专利]一种沉积石墨烯薄膜的设备及其沉积方法

摘要

本发明公开了一种沉积石墨烯薄膜的设备，包括腔体，腔体的顶部设置有电极板，腔体的底部设置有加热板，加热板上设置有若干个支架，支架上放置有沉积基板，腔体的侧壁设置有若干个第一气孔；加热板内设置有若干个相互平行的加热棒，加热棒与加热板顶部之间设置有导热板，导热板与加热棒之间设置有第一真空腔室，相邻两个加热棒之间设置有第二气孔；气源供气管通过分流阀连接有第一供气支路和第二供气支路，气源供气管上设置有预加热器，第一供气支路连接至第一气孔，第二供气支路连接至第二气孔。本发明还公开了一种使用上述沉积石墨烯薄膜的设备的沉积方法。本发明能够改进现有技术的不足，可以提高石墨烯沉积的产品良率。

主权项

1.一种沉积石墨烯薄膜的设备，包括腔体(1)，其特征在于：腔体(1)的顶部设置有电极板(2)，腔体(1)的底部设置有加热板(3)，加热板(3)上设置有若干个支架(4)，支架(4)上放置有沉积基板(6)，腔体(1)的侧壁设置有若干个第一气孔(5)，第一气孔(5)位于加热板(3)和沉积基板(6)之间；加热板(3)内设置有若干个相互平行的加热棒(7)，加热棒(7)与加热板(3)顶部之间设置有导热板(8)，导热板(8)与加热棒(7)之间设置有第一真空腔室(9)，相邻两个加热棒(7)之间设置有第二气孔(10)；气源供气管(11)通过分流阀(12)连接有第一供气支路(13)和第二供气支路(14)，气源供气管(11)上设置有预加热器(21)，第一供气支路(13)连接至第一气孔(5)，第二供气支路(14)连接至第二气孔(10)，第二供气支路(14)贯穿第一真空腔室(9)，第二供气支路(14)与加热棒(7)相接触，第二供气支路(14)上连接有若干个导热棒(15)，导热棒(15)顶部设置有伸缩端(16)，伸缩端(16)与导热板(8)的底面选择性接触。