[发明专利]薄膜晶体管、阵列基板及其制造方法和显示面板有效
| 申请号： | 201610941853.4 | 申请日： | 2016-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN106887468B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 崔承镇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 姜春咸;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种薄膜晶体管，包括栅电极、源电极和漏电极，所述栅电极、所述源电极和所述漏电极中的至少一者包括从上至下依次层叠的辅助电极层、第一防护电极层和主电极层，制成所述辅助电极层的材料的活泼性大于制成所述第一防护电极层的材料的活泼性。本发明还提供一种阵列基板、该阵列基板的制造方法和包括所述阵列基板的显示面板。在本发明中，光刻胶涂敷在辅助导电材料层上。由于形成辅助导电材料层的金属活泼性较高，因此，材料原子外层的电子非常容易失去，使得所述辅助导电材料层能够牢固地吸附光刻胶层。并且，在刻蚀的过程中，遮挡图形也不容易剥离，从而可以获得更加精确的导电图形，提高制造薄膜晶体管的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 阵列 及其 制造 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅电极、源电极和漏电极，其特征在于，所述栅电极、所述源电极和所述漏电极中的至少一者包括从上至下依次层叠的辅助电极层、第一防护电极层和主电极层，制成所述辅助电极层的材料的活泼性大于制成所述第一防护电极层的材料的活泼性。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610941853.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种LED台灯辅助散热设备
- 下一篇：一种无线台灯
- 同类专利
- 专利分类
