[发明专利]变压器有效
申请号: | 201610942121.7 | 申请日: | 2016-11-01 |
公开(公告)号: | CN108022913B | 公开(公告)日: | 2019-11-01 |
发明(设计)人: | 王西宁;程仁豪;周之蒋;高金凤 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L23/64 | 分类号: | H01L23/64;H01F27/28 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 高静;吴敏 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种变压器,包括:衬底;第一线圈结构,包括:第一单层线圈以及第一叠层线圈;第二线圈结构,包括:第二单层线圈以及第二叠层线圈。本发明技术方案可以通过垂直所述衬底表面方向上,所述第一单层线圈和所述第二单层线圈之间实现。所以本发明技术方案能够有效的增加所述第一线圈结构和所述第二线圈结构之间电磁耦合的面积,从而提供电磁耦合效率。在相同的耦合要求情况下,本发明技术方案可以减少所述第一叠层线圈和所述第二叠层线圈的数量,从而能够有效的减小所述第一线圈结构和所述第二线圈结构的面积,减小所述变压器面积。 | ||
搜索关键词: | 变压器 | ||
【主权项】:
1.一种变压器,其特征在于,包括:衬底;位于所述衬底上呈螺旋形的第一线圈结构,包括:第一单层线圈以及与所述第一单层线圈相连的至少一个第一叠层线圈,所述第一叠层线圈包围所述第一单层线圈;位于所述衬底上呈螺旋形的第二线圈结构,包括:第二单层线圈,所述第二单层线圈在所述衬底表面的投影与所述第一单层线圈在所述衬底表面的投影相重叠;以及与所述第二单层线圈相连的至少一个第二叠层线圈,所述第二叠层线圈的数量大于或等于所述第一叠层线圈的数量,且平行衬底表面平面内,所述第二叠层线圈与所述第一叠层线圈或第一单层线圈交替间隔设置;位于所述衬底上的介质层,所述第二单层线圈位于所述衬底上,所述第一单层线圈位于所述介质层上;所述第一单层线圈包括用于与相邻第一叠层线圈相连的第一端和第二端;所述第一叠层线圈包括:位于所述介质层上的多个第一上层金属线;位于所述衬底上的多个第一下层金属线,所述第一下层金属线位于所述第一上层金属线对应的位置;位于所述第一上层金属线和第一下层金属线之间的第一导电插塞;所述第一线圈结构还包括:位于所述介质层上的第一连接线段,所述第一连接线段一端与所述第一单层线圈的第一端相连,所述第一连接线段的另一端与相邻的所述第一上层金属线的一端相连;位于所述衬底上的第二连接线段和位于所述第二连接线段一端的第一连接插塞,所述第二连接线段的一端与所述第一单层线圈的第二端通过所述第一连接插塞相连,所述第二连接线段的另一端与相邻的所述第一下层金属线相连;所述第二叠层线圈为包围所述第二单层线圈的外侧第二叠层线圈;所述外侧第二叠层线圈包括:位于所述介质层上的多个外侧第二上层金属线;位于所述衬底上的多个外侧第二下层金属线,所述外侧第二下层金属线位于所述外侧第二上层金属线对应的位置;位于所述外侧第二上层金属线和外侧第二下层金属线之间的多个第二导电插塞;所述第二单层线圈包括用于与相邻外侧第二叠层线圈相连的第三端和第四端;所述第二线圈结构还包括:位于所述衬底上的第三连接线段,所述第三连接线段一端与所述第二单层线圈的第三端相连,所述第三连接线段的另一端与相邻的外侧第二下层金属线的一端相连;位于所述介质层上的第四连接线段和位于所述第四连接线段一端的第二连接插塞,所述第四连接线段的一端与所述第二单层线圈的第四端通过所述第二连接插塞相连,所述第四连接线段的另一端与相邻的所述外侧第二上层金属线的一端相连。
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