[发明专利]一种高精度微透镜阵列结构的微纳制备方法有效
| 申请号： | 201610943037.7 | 申请日： | 2016-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN106501883B | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 管迎春;王海鹏 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京慧泉知识产权代理有限公司 11232 | 代理人： | 王顺荣;唐爱华 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一种高精度微透镜阵列结构的微纳制备方法：步骤一、选择模具材料；步骤二、将模具材料表面进行磨削与精抛光；步骤三、设计欲加工的微透镜阵列结构方案；步骤四、确定飞秒激光加工参数；步骤五、将模具材料置于飞秒激光精密运动平台上，按照设计好的阵列结构和激光参数在材料表面加工出微透镜阵列结构；步骤六、将飞秒激光加工后的模具材料置于金刚石悬浮液中，采用超声波振动抛光装置进行振动抛光；步骤七、将经过超声波振动抛光的模具材料置于无水乙醇或水溶液中进行超声波清洗，得到模具表面的高精度微透镜阵列结构。该加工方法具有加工周期短，精度高，成本低，加工结构表面平滑等显著优点，且加工过程不存在刀具磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 透镜 阵列 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高精度微透镜阵列结构的微纳制备方法，特征在于：该方法包括以下步骤：步骤一、选择用于制备表面微透镜阵列结构的模具材料；步骤二、将模具材料表面进行磨削与精抛光，使加工表面达到镜面效果，表面粗糙度小于50nm；步骤三、设计欲加工的微透镜阵列结构方案；步骤四、确定飞秒激光加工参数，选用激光加工功率为1～50W，激光频率为10～500kHz，脉冲宽度为300～900fs，波长为400～1300nm；步骤五、将模具材料置于飞秒激光精密运动平台上，调整激光束使焦点聚焦至模具材料表面，结合精密运动平台的精确移动，按照设计好的阵列结构和激光参数在材料表面加工出微透镜阵列结构；步骤六、将飞秒激光加工后的模具材料置于金刚石悬浮液中，采用超声波振动抛光装置对飞秒激光加工后的微透镜阵列结构表面进行振动抛光；步骤七、将经过超声波振动抛光的模具材料置于无水乙醇或水溶液中进行超声波清洗，清洗时间为0.5～60min，即得到模具表面的高精度微透镜阵列结构。
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