[发明专利]一种利用真空罐加速抽真空的装置及方法在审
| 申请号： | 201610944204.X | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN106328476A | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 胡彬;潘景伟;胡磊 | 申请（专利权）人： | 江苏微导纳米装备科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所32207 | 代理人： | 朱少华 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用真空罐加速抽真空的装置，所述装置包括真空泵(1)、第一管道(4)、第一阀门(5)和第二阀门(6)；待抽真空腔室(2)通过第一管道(4)连通真空泵(1)；所述装置设有真空罐(3)，所述真空罐(3)通过第二管道(7)分别连通待抽真空腔室(2)与真空泵(1)；所述第一阀门(5)设置在第二管道(7)上，控制真空罐(3)与其它装置联通；所述第二阀门(6)设置在待抽真空腔室(2)与真空罐(3)之间的第一管道(4)上；加速抽真空的方法是先利用气体的自由膨胀原理，将腔体内部的气体分子数量迅速减小，之后再使用真空泵抽取剩余空气，从而缩短腔体抽真空的所需时间,提高设备产能，提高了生产效率、降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 真空 加速 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种利用真空罐加速抽真空的装置，所述装置包括真空泵(1)、第一管道(4)、第一阀门(5)和第二阀门(6)；待抽真空腔室(2)通过第一管道(4)连通真空泵(1)；其特征在于，所述装置设有真空罐(3)，所述真空罐(3)通过第二管道(7)分别连通待抽真空腔室(2)与真空泵(1)；所述第一阀门(5)设置在第二管道(7)上，用以控制真空罐(3)与其它装置联通；所述第二阀门(6)设置在待抽真空腔室(2)与真空罐(3)之间的第一管道(4)上。
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