[发明专利]一种钨发热体处理方法在审
| 申请号： | 201610945972.7 | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN106498496A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 徐永亮;廖永建;万如涛 | 申请（专利权）人： | 苏州恒嘉晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B17/00;C23G1/10 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)11363 | 代理人： | 逯长明,许伟群 |
| 地址： | 215699 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及蓝宝石晶体生长技术领域，尤其涉及一种钨发热体处理方法。钨发热体使用时，由于侧保温屏材料是钼，容易以钼蒸气的方式沉积在钨发热体上，导致钨发热体变粗，电阻下降。本发明提供一种钨发热体处理方法，将钨发热体的钼沉积部位浸没在强酸中，并控制强酸浓度与温度；降低强酸浓度和反应温度；用去离子水将钨发热体表面的强酸冲洗干净，并调节钨发热体表面PH值至中性，快速干燥；将钨发热体放入泡生炉中，抽真空，使得钨发热体功率到达20～30kw,保温2～10h。本发明使得钨发热体电阻可恢复到初始电阻90％，电阻波动幅度降低到70％，热场波动性显著降低，晶体质量提高，同时能耗节省3％，钨发热体寿命提高50％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发热 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种钨发热体处理方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将钨发热体的钼沉积部位浸没在强酸中，并控制强酸浓度和温度；2)降低强酸浓度和反应温度；3)用去离子水将钨发热体表面的强酸冲洗干净，并调节钨发热体表面PH值至中性，快速干燥；4)将钨发热体放入泡生炉中，抽真空，使得钨发热体功率到达20～30kw,保温2～10h。
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