[发明专利]零添加剂极低硫酸铜浓度制备高力学性能电铸铜层方法

摘要

本发明公开一种零添加剂极低硫酸铜浓度制备高力学性能电铸铜层方法。本方法在不使用任何添加剂的情况下，利用极低铜浓度和高酸浓度提高阴极极化和溶液分散能力，在极低铜浓度区域获得一个能制备优越综合力学性能电铸铜层的铜浓度区间。利用安装有阳极的冲液夹具提高阴极极限电流密度，通过增加阴极电流密度进一步提高阴极极化，得到晶粒组织细致均匀的电铸铜层。经本发明制得的电铸铜层的最高抗拉强度可达526MPa，同时该铜层的延伸率为30%；经本发明制得的电铸铜层的最高延伸率可达43%，同时该铜层的抗拉强度为216MPa。具有高强度与高延伸率的电铸铜大大提高器件的可靠性和使用寿命。

主权项

一种零添加剂极低硫酸铜浓度制备高力学性能电铸铜层方法，其特征在于包括以下过程：直流电源（1）正、负极分别与阳极（2）、工件（3）相连；在电铸过程中工件（3）保持运动；调节电铸电流密度为0.1‑0.5A/dm2，调节电铸液温度为28‑32℃，电铸液由硫酸铜、硫酸和去离子水混合而成，其中硫酸铜浓度为30‑60g/ L，硫酸浓度为168‑172g/L；所述的工件运动包括工件平动、转动、或转动与平动的复合运动。