[发明专利]高温太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201610947223.8 | 申请日： | 2016-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN106568207B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 武永鑫;王虎;李世杰;李芮;王涛 | 申请（专利权）人： | 中国大唐集团科学技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | F24S10/40 | 分类号： | F24S10/40;F24S70/225 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 郑海 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高温太阳能光谱选择性吸收涂层及其制备方法，高温太阳能光谱选择性吸收涂层包括吸热基底，吸热基底表面设有高温太阳能光谱选择性吸收涂层，高温太阳能光谱选择性吸收涂层由三层膜结构组成，三层膜结构由底部到顶部依次为红外反射层、复合吸收层和减反射层，复合吸收层包括高吸收亚层NiSiN膜层和低吸收亚层NiSiON膜层双层结构，该发明的高温太阳能光谱选择性吸收涂层复合吸收层包括高吸收亚层NiSiN膜层和低吸收亚层NiSiON膜层双层结构，可以保证涂层在400‑600℃高温环境下稳定工作，热稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱选择性吸收涂层 高温太阳能 膜层 亚层 复合吸收层 吸热 三层膜结构 双层结构 吸收 制备 太阳光谱选择性 红外反射层 高温环境 基底表面 减反射层 热稳定性 吸收涂层 基底 保证 | ||
【主权项】：
1.一种高温太阳能光谱选择性吸收涂层，包括吸热基底，其特征在于，所述吸热基底表面设有高温太阳能光谱选择性吸收涂层，所述高温太阳能光谱选择性吸收涂层由三层膜结构组成，所述三层膜结构由底部到顶部依次为红外反射层、复合吸收层和减反射层；所述红外反射层由金属薄膜组成，所述红外反射层的膜层厚度为100～250nm；所述复合吸收层由NiSi合金靶在氩气环境中、在氮气气氛及氮气和氧气混合气氛中溅射而成，所述复合吸收层由高吸收亚层和低吸收亚层组成，所述高吸收亚层的吸收特效高于所述低吸收亚层，所述高吸收亚层为NiSiN膜层，NiSiN膜层厚度为30～150nm，所述低吸收亚层为NiSiON膜层，NiSiON膜层厚度为40～150nm；所述减反射层为NiSiO膜层，所述NiSiO膜层厚度为30～150nm。
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