[发明专利]一种用于TFT设备中导向轮水平校准的装置有效
申请号: | 201610947950.4 | 申请日: | 2016-10-26 |
公开(公告)号: | CN106449484B | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 王文程;翟云华;沙双庆;陈睿 | 申请(专利权)人: | 南京华东电子信息科技股份有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 210033 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于TFT设备中导向轮水平校准的装置,包括水平卡套,水平卡套一端设置成凹槽,另一端延伸出一块连接板通过固定连接件与基座相连接,所述水平卡套一端的凹槽左右两边的内径与导向轮的直径相同,导向轮刚好卡入凹槽内。本发明导向轮水平校准的装置结构简单、使用方便快速减少作业时间,提高工作效率;不同人员操作均能调整到位,不会因人而异产生误差,保证安装后的导向轮的水平精度,减少设备破片率,提高设备稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 tft 设备 导向 水平 校准 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于TFT设备中导向轮水平校准的装置,其特征在于,包括水平卡套(1),水平卡套(1)一端设置成凹槽(2),另一端延伸出一块连接板(3)通过固定连接件(4)与基座(5)相连接,所述水平卡套(1)一端的凹槽(2)左右两边的内径与导向轮(6)的直径相同,所述基座(5)与导向轮(6)两边的传送轴(7)水平接触,导向轮(6)刚好卡入凹槽(2)内,俯视导向轮(6)确认与凹槽(2)内侧完全接触,且基座(5)在传送轴(7)上无倾斜,确认导向轮(6)已经水平。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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