[发明专利]一种飞秒激光加工光路系统

摘要

本发明公开了一种飞秒激光加工光路系统，沿激光光路依次包括飞秒激光装置、水平光路装置、竖直光路装置和激光加工设备；通过使用飞秒激光装置降低了激光的光斑直径，通过在水平光路装置内设置探头，在激光加工设备内设置微型摄像头，使得激光光束以及样品的实时状态得以观测，通过在水平光路装置内设置第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第五反射镜，使得水平光路装置内位于各个反射镜之间的装置得以进行合理设置，加工装置的结构更为紧凑。

主权项

1.一种飞秒激光加工光路系统，沿激光的光路方向依次包括飞秒激光装置、水平光路装置、竖直光路装置和激光加工设备；所述飞秒激光装置包括泵浦光源、谐振腔、振荡器和激光放大器，所述激光放大器设置在泵浦光源的光路上，所述谐振腔和振荡器依次设置在所述泵浦光源和所述激光放大器之间的光路上，并将激光射向水平光路装置的进光口；所述水平光路装置包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜，第一反射镜设置在水平光路装置的进光口，第二反射镜设置在第一反射镜激光反射的光路上，第三反射镜设置在第二反射镜激光反射的光路上，第四反射镜设置在第三反射镜激光反射的光路上，第五反射镜设置在第四反射镜激光反射的光路上，第二反射镜和第三反射镜之间的光路上设置有1/2波片，第三反射镜和第四反射镜之间的光路上依次设有格兰偏振片、分光镜和电动快门，激光经所述格兰偏振片分为寻常光和非寻常光，寻常光朝向所述分光镜，非寻常光的光路上设有激光终止器，激光经所述分光镜分为透射光束和反射光束，透射光束朝向所述电动快门，反射光束的光路上设有探头，第四反射镜和第五反射镜之间设有1/4波片，所述第五反射镜将激光反射至竖直光路装置的进光口；所述竖直光路装置包括第六反射镜和扩束镜，所述第六反射镜设置在竖直光路装置的进光口，所述扩束镜设置在所述第六反射镜反射的激光光路上，所述第六反射镜将激光反射至激光加工设备的进光口；所述激光加工设备的进光口设有二向色镜，激光经所述二向色镜分为近红外光和可视光，近红外光的光路上设有激光头，可视光的光路上设有第七反射镜，第七反射镜激光反射的光路上设有微型摄像头。