[发明专利]解决量子阱红外探测器阵列与读出电路之间应力的方法

摘要

一种解决量子阱红外探测器阵列与读出电路之间应力的方法，包括如下步骤在一衬底上制作多量子阱红外探测器材料；在多量子阱红外探测器材料上按照预定间距向下刻蚀，形成多个像元之间的隔离槽，刻蚀深度至衬底内；在刻蚀隔离槽后的多量子阱红外探测器材料上制作In柱；将一读出电路置放在In柱上，使多量子阱红外探测器材料和读出电路通过In柱互连；在In柱的周围灌注胶，胶的作用是互连固化；把衬底第一次减薄；将衬底抛光，第二次减薄；继续腐蚀衬底，第三次减薄，直至暴露出衬底上的隔离槽，各像元完全隔离，完成制备。本发明可以使像元间完全隔离，更加有效的释放热应力。

主权项

一种解决量子阱红外探测器阵列与读出电路之间应力的方法，包括如下步骤：步骤1：在一衬底上制作多量子阱红外探测器材料；步骤2：在多量子阱红外探测器材料上按照预定间距向下刻蚀，形成多个像元之间的隔离槽，刻蚀深度至衬底内；步骤3：在刻蚀隔离槽后的多量子阱红外探测器材料上制作In柱；步骤4：将一读出电路置放在In柱上，使多量子阱红外探测器材料和读出电路通过In柱互连；步骤5：在In柱的周围灌注胶，胶的作用是互连固化；步骤6：把衬底第一次减薄；步骤7：将衬底抛光，第二次减薄；步骤8：继续腐蚀衬底，第三次减薄，直至暴露出衬底上的隔离槽，各像元完全隔离，完成制备。