[发明专利]一种改善蓝宝石衬底减薄质量的预处理方法

摘要

一种改善蓝宝石衬底减薄质量的预处理方法，在吸片台上进行，包括以下步骤：（1）将吸片台表面用蘸有无水乙醇的无尘纸擦拭干净；（2）将中心厚度与边缘厚度的差值大于10μm的蓝宝石衬底放置在吸片台上；（3）将衬底吸附在吸片台上；（4）使蓝宝石衬底旋转；（5）用油石对衬底边缘进行磨边，磨边后使蓝宝石衬底的中心厚度与边缘厚度的差值不大于10μm；（6）将蓝宝石衬底取下；（7）去离子水中超声清洗；（8）去离子水中清洗；（9）烘干。该方法操作简单、易实现、成本低、效率高，主要针对中心与边缘厚度差超过10μm的蓝宝石衬底，可有效降低翘曲度，改善后续减薄质量，降低边缘掉边及裂片异常，提高产品良率。

主权项

1.一种改善蓝宝石衬底减薄质量的预处理方法，是在吸片台上进行，其特征是，包括以下步骤：（1）将吸片台表面用蘸有无水乙醇的无尘纸擦拭干净；（2）测量蓝宝石衬底的中心厚度及边缘厚度，所述边缘指最外缘向内1‑2mm的范围；将中心厚度与边缘厚度的差值大于10μm的蓝宝石衬底放置在吸片台上，放置完毕后不得再次移动，以防表面划伤；（3）开启吸片台的真空按钮，将衬底吸附在吸片台上；（4）启动吸片台，使蓝宝石衬底旋转；（5）将油石相对衬底表面以小于15°的倾斜角对衬底边缘进行磨边，所述衬底边缘是指衬底最外缘向内1‑2mm的范围，磨边后使蓝宝石衬底的中心厚度与边缘厚度的差值不大于10μm；（6）磨边结束后，使蓝宝石衬底停止转动，关闭真空按钮，将蓝宝石衬底从吸片台上取下，待洗；（7）将磨边后的蓝宝石衬底置于去离子水中超声清洗1‑10分钟；（8）将超声后的蓝宝石衬底在去离子水中清洗1‑5分钟；（9）将清洗后的蓝宝石衬底进行热氮烘干；（10）测量烘干后的蓝宝石衬底中心厚度与边缘厚度差，所述边缘指最外缘向内1‑2mm的范围，差值不大于10μm判定为合格，若大于10μm，重新磨边直至厚度差不大于10μm。