[发明专利]一种消除边缘效应的大口径非球面反射镜加工方法

摘要

一种消除边缘效应的大口径非球面反射镜加工方法，在大口径非球面反射镜周围粘接一圈与反射镜相同材料的拼环，再进行光学加工和检测，光学加工和检测后将拼环撤除，即可消除边缘效应。采用此种拼环去除加工边缘效应，不影响反射镜正常搬运和加工检测。在反射镜吊运过程中，其吊运工装与反射镜接触部分要既接触到反射镜又接触到粘接外环部分。在反射镜加工和检测过程中，由于需要支撑，所以其支撑工装与反射镜接触部分要既接触到反射镜又接触到粘接外环部分。

主权项

一种消除边缘效应的大口径非球面反射镜加工方法，其特征在于，包括步骤如下：步骤一、制作与反射镜(1)相同材料的外环(3)，外环(3)内圈半径与反射镜(1)半径一致；将反射镜(1)粘贴在外环(3)内圈，反射镜(1)与外环(3)共同组成镜坯；步骤二、将步骤一中获得的镜坯吊运至三坐标测量机上进行检测，吊运过程中使用的吊运工具(4)伸入反射镜(1)底部的托杆长度与镜坯连接缝隙至外环(3)边缘的距离一致，吊运工具(4)的托盘与镜坯连接缝隙接触，保证反射镜(1)与外环(3)一同被吊运；步骤三、对镜坯进行三点支撑(5)，支撑点位置组成三角形，支撑平面位于镜坯的连接缝隙处；使用三坐标测量机对镜坯平面进行检测，测量获得镜坯的表面形状；步骤四、将步骤三中获得的镜坯表面形状与要求获得的理想反射镜表面形状进行对比获得研磨加工量，使用行星轮对镜坯上表面进行研磨，研磨盘与镜坯表面形状吻合，使得研磨后的镜坯的面形精度PV值≤2μm；步骤五、对步骤四中获得的镜坯进行抛光，使得镜坯面形能够进入干涉仪量程，使用干涉仪测量获得镜坯的干涉条纹，根据干涉条纹获得镜坯的表面形状；步骤六、将步骤五中获得的镜坯表面形状与要求获得的理想反射镜表面形状进行对比获得抛光加工量，采用行星轮对镜坯上表面进行抛光加工，抛光盘与镜坯表面吻合；步骤七、分离反射镜(1)和外环(3)，获得消除边缘效应的反射镜(1)。