[发明专利]一种带除尘结构的陶瓷抛光设备在审

专利信息
申请号: 201610950344.8 申请日: 2016-10-27
公开(公告)号: CN106392853A 公开(公告)日: 2017-02-15
发明(设计)人: 吴雯 申请(专利权)人: 苏州仓旻电子科技有限公司
主分类号: B24B29/00 分类号: B24B29/00;B24B27/00;B24B55/06;B24B47/10
代理公司: 常州市维益专利事务所(普通合伙)32211 代理人: 赵枫
地址: 215200 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及的一种带除尘结构的陶瓷抛光设备,属于半导体设备领域。它包括抛光结构和除尘结构,所述抛光结构具有抛光机机架,所述抛光机机架上方固定有主驱动电机和辅助驱动电机,所述主驱动电机通过带传动连接有主驱动轴,所述主驱动轴通过带传动连接有抛光件,所述抛光件下方设置有用于安放陶瓷工件的工作台,所述工作台下方设有粉尘集中箱,所述粉尘集中箱与除尘机构连接,所述除尘机构包括用于吸取粉尘的吸尘泵和用于过滤粉尘的过滤机构。
搜索关键词: 一种 除尘 结构 陶瓷 抛光 设备
【主权项】:
一种带除尘结构的陶瓷抛光设备,包括抛光结构(1)和除尘结构(2),其特征在于:所述抛光结构(1)具有抛光机机架(3),所述抛光机机架(3)上方固定有主驱动电机(4)和辅助驱动电机(5),所述主驱动电机(4)通过带传动连接有主驱动轴(6),所述主驱动轴(6)通过带传动连接有抛光件(7),所述抛光件(7)下方设置有用于安放陶瓷工件的工作台(8),所述工作台(8)下方设有粉尘集中箱(9),所述粉尘集中箱(9)与除尘机构(2)连接,所述除尘机构(2)包括用于吸取粉尘的吸尘泵(10)和用于过滤粉尘的过滤机构(11)。
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