[发明专利]一种可实现单晶在线退火的生长设备及其方法

摘要

本发明提供了一种可实现单晶在线退火的生长设备及其方法，所述生长设备包括：炉体、充气系统、真空系统、排气系统，所述退火方法将籽晶，多晶材料，氧化硼放入坩埚，通过垂直梯度温度方法生长单晶棒，生长结束后通入氯气，单晶棒表面附着的氧化硼与氯气反应变成气体，通过真空泵排出罐外，同时对单晶棒进行退火升温工艺，实现生长单晶在线退火。

主权项

1.一种可实现在线退火的单晶生长设备，其特征在于，包括：炉体、充气系统、真空系统、排气系统，所述炉体，顶部配有罐门，炉体从外部向内部依次为壳体、保温层、加热器、石英管、坩埚，所述石英管两端镶嵌密封法兰，并配有管路开口，上部连接充气系统，下部连接排气系统和抽空系统，其中，所述加热器分为五个控温器，分别控制炉体内由下向上形成的五个温区；所述充气系统，由压力传感器和两路充气管路组成，其中一路连接到特气管道，另一路连接到氯气管道，用于提供晶体生长过程中的不同气体氛围，以及退火氛围；所述真空系统由真空管路构成，真空管路通过炉体底部连接到石英管内部，真空管道另一端连接到真空泵，真空泵出口连接到尾气回收管道；所述排气系统，由排气管道、排气阀组成，排气管道一端连接到炉体底部，另一端连接到尾气回收管道。