[发明专利]基板平整度监控装置有效
| 申请号： | 201610951757.8 | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN106370134A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 曾祥波 | 申请（专利权）人： | 南京华东电子信息科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210033 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板平整度监控装置，包括光路系统、信号处理系统和显示监控系统，光路系统包括线光源和受光系统；线光源用于发射光束照射基板表面；受光系统用于接收经基板反射的光信号；信号处理系统用于分析受光系统接收到的光信号，判断基板平整度是否存在异常；显示监控系统用于显示信号处理系统的结果并在基板平整度存在异常时发出警报。本监控装置实时监控基板平整度，在不影响设备运行的情况下，可以及时发现基板平整度的异常并发出警报，可以及时进行处理，避免了不良产品的产生，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 平整 监控 装置 | ||
【主权项】：
一种基板平整度监控装置，其特征在于：包括光路系统、信号处理系统和显示监控系统；其中，光路系统包括线光源和受光系统；线光源用于发射光束照射基板表面；受光系统用于接收经基板反射的光信号；信号处理系统用于分析受光系统接收到的光信号，判断基板平整度是否存在异常；显示监控系统用于显示信号处理系统的结果并在基板平整度存在异常时发出警报。
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