[发明专利]一种具有损耗补偿功能的有机聚合物电光调制器及其制备方法

摘要

一种具有损耗补偿功能的有机聚合物高速电光调制器及其制备方法，属于聚合物平面光波导器件及其制备技术领域。是在硅衬底上通过旋涂、光刻、刻蚀等半导体工艺在聚合物下包层上制备出波导凹槽，然后通过旋涂工艺在波导凹槽上涂覆一层有机光放大材料，接下来通过光刻和湿法刻蚀工艺在中间的电光调制区再一次制备出波导凹槽，再将极化聚合物电光材料涂覆在凹槽中作为电光调制区的波导芯层，最后涂覆上包层并对波导进行电场极化，进而制备出对光信号具有损耗补偿功能的高速电光调制器件。本发明所述电光调制器可以同时实现对信号的放大功能，实现传统单一波导器件的多功能化，并且制作方法简单，器件成本低，成品率高，制备速度快，适合大批量生产。

主权项

1.一种具有损耗补偿功能的有机聚合物电光调制器，其特征在于：从左到右，依次由光信号的第一损耗补偿区(1)、光信号的电光调制区(2)和光信号的第二损耗补偿区(1’)所构成；从下到上，第一损耗补偿区(1)和第二损耗补偿区(1’)依次由硅片衬底(15)、在硅片衬底(15)上制备的MSL下电极(25)、在MSL下电极(25)上制备的具有波导凹槽结构的聚合物下包层(24)、在聚合物下包层(24)上制备的具有倒脊型波导结构的基于有机光放大材料的输入/输出区光波导芯层(23)、在光波导芯层(23)上制备聚合物上包层(26)组成，输入/输出区光波导芯层(23)为带有平行尾端的Y分支结构；从下到上，电光调制区(2)依次由硅片衬底(15)、在硅片衬底(15)上制备的MSL下电极(25)、在MSL下电极(25)上制备的具有波导凹槽结构的聚合物下包层(24)、在聚合物下包层(24)上制备的具有倒脊型波导结构的基于极化聚合物电光材料的电光调制区光波导芯层(22)、在光波导芯层(22)上制备的聚合物上包层(26)、在聚合物上包层(26)上制备的MSL调制电极(21)组成，电光调制区光波导芯层(22)为两条直波导结构；基于有机光放大材料的输入/输出区光波导芯层(23)和基于极化聚合物电光材料的电光调制区光波导芯层(22)构成一体的MZI型结构，电光调制区(2)的长度小于电光调制区光波导芯层(22)中两条直波导的长度，电光调制区光波导芯层(22)中两条直波导的位置分别与MSL调制电极(21)中两条上电极的位置相对应。