[发明专利]一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统

摘要

一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、精馏塔和氮气回收装置；反应装置包括第二除尘器；第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管；第四进气管竖向设置，其底部位于集尘管内，其顶部贯穿于集尘管的顶部；第四进气管的底部设有气体分布器，位于气体分布器的上方设有气体扰流板；第二排污管设于集尘管的底部；氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔依次连接，氮气回收装置连接于精馏塔和反应装置之间；本发明根据上述内容提出一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，其能够稳定回收氮气，除尘效果好，四氟化碳纯化效果理想。

主权项

1.一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化装置，包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、精馏塔和氮气回收装置；其特征在于：所述反应装置包括第二除尘器；所述第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管；所述第四进气管竖向设置，其底部位于所述集尘管内，其顶部贯穿于所述集尘管的顶部；所述第四进气管的底部设有气体分布器，位于所述气体分布器的上方设有气体扰流板；所述第二排污管设于所述集尘管的底部；所述氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔依次连接，所述氮气回收装置连接于所述精馏塔和反应装置之间；所述氮气回收装置用于将所述精馏塔中作为冷媒的液氮回收，并利用液氮回收时汽化吸热的原理与输入至所述氮气回收装置的水进行热交换，并将换热后的冷却水输出至所述反应装置，将氮气重新回收至所述精馏塔和反应装置；所述气体分布器为喇叭状；所述气体分布器由其上端的开口向其下端的开口逐渐向外扩张；所述气体分布器在其上端开口处固定于所述第四进气管的底部；所述气体分布器上排列满气孔；所述气体扰流板为喇叭状；所述气体扰流板由其上端的开口向其下端的开口逐渐向内收窄，其上端的开口的边沿固定于所述集尘管的内壁；所述纯化装置还包括缓冲气袋、冷却器、低压吸附器、加压吸附器和充装器；所述氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、缓冲气袋、冷却器、低压吸附器、加压吸附器、精馏塔和充装器依次连接；所述氮气回收装置包括换热系统、氮气缓冲系统、备用水路和备用气路；所述换热系统设置有氮路输入端、氮路输出端、水路输入端和水路输出端，氮气自所述氮路输入端经过所述换热系统由所述氮路输出端输出至所述氮气缓冲系统，水自所述水路输入端经过所述换热系统由所述水路输出端输出；所述换热系统的氮路输出端、水路输出端、氮路输入端和水路输入端均设有阀门；所述备用水路的输入端和输出端分别连接于所述换热系统的水路输入端和水路输出端；所述备用气路的输入端和输出端分别连接于所述换热系统的氮路输入端和所述氮气缓冲系统的输入端；所述备用水路和所述备用气路均设有备用阀门；换热系统还包括循环水池和循环水泵；所述第二排污管向外倾斜；所述第二排污管一侧的顶部与所述集尘管的底部平面形成的角度A为钝角；所述第二排污管另一侧的顶部与所述集尘管的底部平面形成的角度B为锐角；所述第二排污管的底部设有排污口；所述集尘管设有第四排气管，其位于所述气体扰流板的上方，并靠近于所述集尘管顶部的外壁；所述集尘管内设有半圆形挡板，其位于所述第四进气管内靠近于所述第四排气管的那一侧，且位于所述第四排气管的下方；所述半圆形挡板为向下倾斜设置。