[发明专利]复合型基板及其制备方法在审
申请号: | 201610954814.8 | 申请日: | 2016-10-27 |
公开(公告)号: | CN106564856A | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 尚金堂;罗斌;张瑾 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B81B7/02 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人: | 陈国强 |
地址: | 211189 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种复合型基板及其制备方法,所述复合型基板包括玻璃部分;硅部分;嵌入导电部分;其中,复合型基板的主体为玻璃部分或硅部分;所述复合型基板的厚度范围50μm‑1mm。本发明采用因瓦合金、超因瓦合金或金属玻璃中的一种作为嵌入导电部分的材料,这几种材料导电性良好,且与玻璃部分和硅部分的热膨胀系数匹配或相差不大,相比于采用铜材料,复合型基板的可靠性大大增强。 | ||
搜索关键词: | 复合型 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种复合型基板,其特征在于:包括:玻璃部分;硅部分;嵌入导电部分;其中,所述复合型基板的主体为玻璃部分或硅部分;所述复合型基板的厚度范围50μm‑1mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学,未经东南大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610954814.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种深硅刻蚀方法
- 下一篇:一种自对准MEMS压阻式加速度计制作方法