[发明专利]一种单晶热场梯度附加调节系统在审
| 申请号： | 201610956783.X | 申请日： | 2016-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN106435715A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 卜庆宝 | 申请（专利权）人： | 保山新澳泰能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)11531 | 代理人： | 李宏伟 |
| 地址： | 678100 云南省保*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶热场梯度附加调节系统，该系统设置在单晶炉的上盖板处，且环绕内导流筒设置，该系统由多个环状部件组成，包括第一部件、第二部件、第三部件、第四部件和第五部件，第一部件、第二部件和第三部件自上而下依次设置成调温部分，调温部分相对于内导流筒呈160‑180°夹角，调温部分的外侧设有保温部分，保温部分由第四部件和第五部件自内往外在水平方向上叠加而成，单晶热场的上部热场梯度的适应性调节以保证热场梯度的平滑过渡,并使晶棒本身在要求的温度区域的有合适的温度梯度以控制晶棒在某一温度区域的冷却速度，同时可以对兼顾对气体的整流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶热场 梯度 附加 调节 系统 | ||
【主权项】：
一种单晶热场梯度附加调节系统，该系统设置在单晶炉的上盖板处，且环绕内导流筒设置，其特征在于，该系统由多个环状部件组成，包括第一部件、第二部件、第三部件、第四部件和第五部件，第一部件、第二部件和第三部件自上而下依次设置成调温部分，调温部分相对于内导流筒呈160‑180°夹角，调温部分的外侧设有保温部分，保温部分由第四部件和第五部件自内往外在水平方向上叠加而成，第一部件、第二部件、第三部件、第四部件和第五部件的材质包括但不限于钼、陶瓷、石英、等静压石墨、高纯石墨、保温毡等一种或多种的组合。
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