[发明专利]一种自适应抛光磨头及用于光学元件检测的支撑工装

摘要

本发明公开了一种自适应抛光磨头，包括：盖板，设置在所述抛光磨头的底端；导轨设置在所述抛光磨头的内部；心轴，设置在所述抛光磨头的内部并通过心轴伸出孔伸出盖板；位移传感器，设置在所述抛光磨头的内部并固定在所述位移传感器固定块上；磨头帽，设置在所述抛光磨头的顶端；及，磨头法兰，所述磨头法兰设置在所述抛光磨头的内部。本发明还提供了一种用于光学元件检测的支撑工装。本发明提供的自适应抛光磨可以：使得光学元件的抛光头在受力超过额定限度情况下发生自适应的变形，从而降低了抛光过程中抛光磨头的振动，使抛光压力对光学元件面型误差的负面影响降低；有效提高光学元件加工精度。

主权项

1.一种自适应抛光磨头，其特征在于，包括：盖板，所述盖板设置在所述抛光磨头的底端，所述盖板上设有数据线孔、盖板固定间隙孔及心轴伸出孔；导轨，所述导轨设置在所述抛光磨头的内部；心轴，所述心轴设置在所述抛光磨头的内部并通过所述心轴伸出孔伸出盖板，所述心轴上设有位移传感器固定块固定孔用于固定位移传感器固定块、导轨固定孔用于固定导轨，所述位移传感器固定块固定孔和所述导轨固定孔均设置在所述抛光磨头的内部；位移传感器，所述位移传感器设置在所述抛光磨头的内部并固定在所述位移传感器固定块上；磨头帽，所述磨头帽设置在所述抛光磨头的顶端；及，磨头法兰，所述磨头法兰设置在所述抛光磨头的内部，所述磨头法兰上设有盖板固定孔用于固定所述盖板、磨头帽固定孔用于固定所述磨头帽、及导轨固定间隙孔。