[发明专利]一种新型的压电复合薄膜传感器的制备方法在审
申请号: | 201610958003.5 | 申请日: | 2016-10-27 |
公开(公告)号: | CN106549100A | 公开(公告)日: | 2017-03-29 |
发明(设计)人: | 何晶靖;刘晓鹏;方小亮;张卫方;娄伟涛;董邦林 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | H01L41/37 | 分类号: | H01L41/37;H01L41/257;H01L41/23 |
代理公司: | 北京慧泉知识产权代理有限公司11232 | 代理人: | 王顺荣,唐爱华 |
地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明一种新型的压电复合薄膜传感器的制备方法,它包括新型压电复合薄膜的制备、压电复合薄膜的局部极化和压电复合薄膜传感器的封装;本发明所提供的新型压电复合薄膜与一般的复合薄膜相比具有更好的压电性能。所制备的新型压电复合薄膜传感器有轻质、可设计性和良好的柔韧性,可适用于曲面结构,并且其相比于传统PVDF压电薄膜在压电性能方面有了较大提高,其在结构健康监控领域有着广阔的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 压电 复合 薄膜 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种新型的压电复合薄膜传感器的制备方法,其特征在于:它包括新型压电复合薄膜的制备、压电复合薄膜的局部极化和压电复合薄膜传感器的封装;该新型压电复合薄膜的制法是采用石墨烯作为第三相添加到陶瓷/聚合物即PZT/PVDF复合薄膜中,经过流延法制备得到;该压电复合薄膜的局部极化是通过先采用离子溅射的方法在新型压电复合薄膜表面溅射金电极,然后采用外加强直流电场对处于油浴中的压电复合薄膜进行极化而成;该压电复合薄膜传感器的封装,其具体作法是:在压电复合薄膜的极化部位的边缘适当距离钻孔,使用导电胶作为引线粘贴于新型压电复合薄膜上、下表面,并使用铆钉接头连接来制备底部和顶部电极,通过导线将电极引出;在压电复合薄膜的上、下表面压制一层塑料外壳作为保护层。
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