[发明专利]带不对称凹部的衬托器、用于外延沉积的反应器和生产法

摘要

公开了带不对称凹部的衬托器、用于外延沉积的反应器和生产法。本发明涉及一种用于外延沉积的反应器的衬托器，其包括具有水平盘形的主体；主体具有第一上表面、第二下表面和主体的竖直对称轴线；第一面有多个盘形凹部，其中的每个具有质心并具有穿过该质心的凹部的对称轴线；沿包括主体的竖直对称轴线的任何竖直平面截取的凹部中的每一个的截面关于任何轴线不对称；沿平行于主体的竖直对称轴线且垂直于主体的穿过凹部的质心的半径的任何竖直平面截取的凹部中的每一个的截面关于竖直轴线对称。由于这样的衬托器，补偿由于从衬托器插入(冷的，即在低温下)反应器的反应室中时到开始在基底上沉积(在高温下)时衬托器的形变造成的负面影响是可能的。

主权项

一种衬托器，包括具有水平的盘形形状的主体(40)，其中所述主体(40)具有第一上表面(41)、第二下表面(42)和所述主体的竖直对称轴线(Z)，其中所述第一面(41)具有多个盘形凹部(43、80)，所述多个盘形凹部(43、80)中的每一个凹部具有质心和该凹部的穿过所述质心的对称轴线(Z1)；其中沿包括所述主体的所述竖直对称轴线(Z)的任何竖直平面(R‑R)截取的所述凹部(80)中的每一个的截面(图10)关于任何轴线(Z1)不对称；其中沿平行于所述主体的所述竖直对称轴线(Z)并且垂直于所述主体的穿过所述凹部的所述质心的半径的任何竖直平面(T‑T)截取的所述凹部(80)中的每一个的截面(图9)关于竖直轴线(Z1)对称。